真空热蒸发镀膜工艺
OLED器 件需要在高真空腔室中蒸镀多层有机薄膜和金属电极,薄膜的质量关系到器件质量和寿命。在有机真空腔室中设有多个放置有机材料的蒸发舟,加热蒸发舟蒸镀有机 材料;在金属真空腔室中设有多个放置金属电极的蒸发舟,金属蒸发舟常采用钼、钽和钨等材料制作,电极材料有Mg/Ag、Mg:Ag/Ag、Li/Al、 LiF /Al等,通常是使用低功函数的活泼金属。ITO玻璃基板放置在可加热的旋转样品托架上,其下面放置的金属掩膜板控制蒸镀图案,并利用石英晶体振荡器来控 制膜厚。
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超级电容手套箱
电极材料是超级电容器的重要组成部分,是影响超级电容器性能和生产成 本的关键因素。当前研究和应用为广泛的超级电容器电极材料是碳材料,主 要包括活性炭、活性炭纤维、碳纳米管和石墨烯等。其中,活性炭材料由于具 有稳定的使用寿命、低廉的价格及大规模的工业化生产基础,在目前的超级电容器产品中被广泛采用。
然而,活性炭材料比较容易被氧化,从而导致碳基超级电容器内阻较大, 高频特性差。虽然有部分制造商在单一工序采用了真空处理设备,但在多个制备工序以 及在从一道工序转移到下一道工序的过程中,仍然在大气环境中进行,氧气和 水份的问题仍然存在,严重地制约了超级电容器实现高能量、高功率密度。
针对上述超级电容器制备过程中电极 容易氧化的问题,艾明坷提供一种可防止器件氧化的超级电容手套箱。由烘箱(两台以上)、手套箱(包括冷却舱、箱体和出料舱)组成,有冷却舱强制降温,可大大提高生产效率,一台手套箱可供多台烘箱使用,降低设备成本。
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核工业手套箱
世界先进的防泄漏技术
防止辐射:使用铅板、含铅玻璃、含铅手套
超低水氧含量:威格无泄漏密封使得手套箱在负压下运转,维持水氧含量小于1PPM
安全更换手套:负压更换手套避免空气和核1泄漏,手套箱专用水分析仪价格,箱体内水氧含量上升值不超过1PPM
安全核物料转移:使用Bag-in-Bag-out装置,确保物料转移过程中不污染环境。
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